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GB/T 1557-2018硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

中国标准分类号（CCS）

H17

国际标准分类号（ICS）

77.040

发布日期

2018-09-17

实施日期

2019-06-01

主管部门

国家标准化管理委员会

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

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TAGS： GBT

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