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气体流量校准是指通过将流量敏感设备(例如流量计或流量控制器)的测量结果与某个流量测量参考比较来校准该设备。通常设备或在测设备 (UUT) 在气动性上与流量参考串行连接,这样它们便测量相同的气体流量,然后比较两台设备的读数。
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校准、检定、计量确认关系图