NQI专项“纳米几何特征参量计量标准器研究及应用示范”项目实施方案通过论证

2018年9月8日，由中国计量科学研究院（简称中国计量院）牵头承担的“十三五”国家重点研发计划“国家质量基础的共性技术研究与应用”重点专项（以下简称“NQI专项”）“纳米几何特征参量计量标准器研究及应用示范”项目实施方案论证会在京召开。来自北京航空航天大学、哈尔滨工业大学、中国科学院微电子研究所等单位的专家组成咨询专家组，对项目实施方案进行了评审，房建成院士任专家组组长。21世纪议程管理中心相关负责人，中国计量院院长方向、相关职能部门负责人以及项目参与单位技术骨干出席论证会。

西安交通大学蒋庄德院士代表项目组介绍了项目总体情况和实施方案，各课题负责人分别汇报了课题实施方案。咨询专家组认真听取了汇报，重点针对扁平化校准方法、纳米几何量量传体系建设等提出了质询，并对纳米计量领域国家标准以及国家标准物质的申报提出了明确的要求。经讨论，与会专家一致认为项目实施方案目标明确、研究内容设置合理、技术路线切实可行、保障措施有力，同意通过论证。

中国计量院科技管理部、财务部管理人员及参与项目论证的财务专家分别就项目实施管理要求和经费使用要求进行了宣贯。

据介绍，目前我国纳米计量量值传递体系尚不完善，纳米几何特征参量计量标准器存在许多空白，导致集成电路、新材料、环境、医学等行业相关产业的大量纳米测量设备必须依赖国外仪器生产商和检测机构进行溯源，制约了我国相关产业的自主发展。为此，中国计量院牵头西安交通大学、西安微电子技术研究所、上海市计量测试技术研究院、苏州市计量测试院等14家单位承担了该项NQI项目，针对纳米线宽标准器缺失、相关量值传递体系难以完整构建等问题，研制从16nm到2000nm的一维、二维栅格和线宽等几何特征参量计量标准器，实现其高精度定值、校准和量值溯源，并建立覆盖产业、地方乃至全国的全链条纳米几何量量值传递体系。项目还将在集成电路、航空航天、先进制造和生物医药等国家战略性产业开展应用示范，解决我国纳米计量标准器缺失以及量传体系与产业脱节的问题，为我国相关行业建立产品自主研发能力、提升产品质量和国际竞争力奠定基础。